COMPONENTS
  • Sputtering Components Inc.
  • - Internal Mount Options (Drop-In Type)
  • - External Mount Options (Side-Mount Type)
  • - Swing Type End block
  • - Advanced Magnetic Options
  • - eCathodeTM
  • Gencoa
  • - Planar magnetron cathode
  • - Circular magnetron cathode
  • - Magnetics option
  • UHV Components
Rotatable Magnetron Cathodes

Sputtering Components Inc

Internal Mount
Options
(Drop-in Type)

SC/MC/TC End blocks
 

특징 - 특화된 고효율의 파워 전달 방법 사용
- 최적화된 Target 교체 방법
- 내구성이 한층 강화된 Seal 사용
- 외부에서 Magnet bar 각도 조절 가능
- 특화된 Target 냉각수 유/배수 방법 사용
- 간단한 디자인 및 높은 신뢰성 구현
장점 - 매우 높은 사용상 신뢰성 입증됨
- 매우 간단한 설치 가능
- 매우 편리한 Target 탈/부착 작업 가능
- 1시간 정도의 유지/보수 시간
- 매우 저렴한 유지/보수 비용
- 다양한 Target 제조사 제품 사용가능
- 높은 냉각 효율 - 과열 발생 없음
- 누수 전류등에 의한 부식 발생 없음

SPECIFICATIONS

Model Power V/A Target(mm)
SC Up to 200kW DC or 80kHz MF/AC 1500V / 450A Up to 4000
MC Up to 100kW DC or 80kHz MF/AC 1000V / 225A Up to 2500
TC Up to 40kw DC or 80KHz MF/AC 1000V / 225A Up to 1500