COMPONENTS
  • Sputtering Components Inc.
  • - Internal Mount Options (Drop-In Type)
  • - External Mount Options (Side-Mount Type)
  • - Swing Type End block
  • - Advanced Magnetic Options
  • - eCathodeTM
  • Gencoa
  • - Planar magnetron cathode
  • - Circular magnetron cathode
  • - Magnetics option
  • UHV Components
Rotatable Magnetron Cathodes

Sputtering Components Inc

External Mount
Options
(Side-Mount Type)

SM/MM/CM End blocks
 

특징 - 고객 사양에 맞게 구동축 길이 조정 가능
- 특화된 고효율의 파워 전달 방법 사용
- 매우 소형/경량화된 제품임
- 외부에서 Magnet bar 각도 조절 가능
- 특화된 Target 냉각수 유/배수 방법 사용
- 간단한 디자인 및 높은 신뢰성 구현
장점 - 모든 전장 부품들 외부에 설치됨
- 매우 편리한 Target 탈/부착 작업 가능
- 기존 제품보다 뛰어난 사용상 편리성
- 대부분의 시스템 디자인에 적용 가능
- 다양한 Drive motor 설치 방향
- 매우 간단한 유지/보수 가능
- 매우 다양한 공정에 적용 가능
- 높은 냉각 효율 - 과열 발생 없음

SPECIFICATIONS

Model Power V/A Target(mm)
SC Up to 200kW DC or 80kHz MF/AC 1500V / 450A Up to 4000
MM Up to 100kW DC or 80kHz MF/AC 1500V / 225A Up to 2500
CM Up to 20kw DC or 80KHz MF/AC 1500V / 50A Up to 1000